ケミカル材料を半導体製造装置へ安全かつ安定的に供給するための供給システムや精製・処理装置までをラインナップし、多様化・複雑化する最先端のニーズにお応えします。

特殊ケミカル供給システム

半導体の製造に使われるケミカル材料を半導体製造装置へ安全かつ安定的に供給するための特殊ケミカル関連機器も取り扱っています。メルク社が製造する高純度ケミカル供給装置（ケムガード）など、ケミカル材料の性状（毒性、可燃、腐食、蒸気圧）およびお客様のご要望に合わせた仕様をラインアップしています。また、使用するケミカル蒸気量を制御する恒温槽や流量コントロールシステムなど、幅広い提案を行っています。

取り扱う高純度ケミカル供給機器の種類

• CG100：TEOS，TEB，TEPO他（汎用ケミカル）※標準モデル：VM製
• CG200：BTBAS，BDEAS ※特殊バルブシート材使用：VM製
• CG300：3DMAS他 ※禁水性、腐食性ケミカル対応：VM製
• CG400：TMA他 ※自然発火性ケミカル対応：VM製
• CG500：TEMAHf，Zr材料他 ※ソルベントパージ機能付：VM製