産業ガスのアプリケーションテクノロジーを用いた装置で、お客様の生産性向上、コストダウン、環境負荷低減に取り組んでいます。
CMPスラリー供給装置 / ドライアイススノー洗浄装置 / 大気圧プラズマ表面処理装置 / 液体窒素フリーザー
半導体製造に欠かせない高純度バルクガスと特殊材料ガスの供給システムを提供しております。
シリンダーキャビネット / バルブマニホールドボックス(VMB)
