事業内容 Our Business
パイオニクス事業部
各種ガス超高純度精製装置や排ガス処理装置等の開発、製造、販売に加え工業計測機器の輸入、販売をしております。
計測における最も重要なテーマとなる圧力・流量・水位では日本国内で当社しか扱っていない、時代のニーズやトレンドを先取り・反映している優れた製品を、多数取り揃えております。
特殊機器事業部
特殊ケミカル供給装置の開発、製造及び販売をしております。
グローバルで標準的に採用されているMerck社（Versum社）製の特殊ケミカルの供給装置の輸入販売の他に、エレクトロニクス分野で使用され、複雑・多様化する各種特殊材料をプロセス装置へ安全かつ安定的に供給する最適なシステムのご提案が可能です。
PSA事業部
窒素ガス発生装置（PSA）の開発から製造、販売、保守まで一貫して対応しております。
PSA装置の心臓部にあたる吸着材（CMS）においても独自の合成高分子材料ベルパール他を原料として採用し高収率かつ省スペースの装置を得意としております。
エンジニアリング事業部
半導体製造プロセスに欠かせないスラリー供給装置や、シリンダーキャビネット、VMB等の半導体関連ガス材料供給装置、また、Siウエハや電子回路基板などに最適なドライアイススノー洗浄装置など、半導体分野に携わる装置技術の提案、製造販売を行なっています。ご要望に合わせてカスタマイズも行っております。
